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1、閥體材料：SS316L，SS316L VAR；

2、金屬對(duì)金屬隔膜密封；

3、內(nèi)部電解拋光，光潔度可達(dá)：Ra 0.13μm(5μin.)；

4、內(nèi)部容積小；

5、進(jìn)口壓力可達(dá)：3500psig；

6、最大流量：SF:800SLPM，HF:1000SLPM，F(xiàn)C:1500SLPM；

7、高清潔的組裝和包裝適用于高純潔度的半導(dǎo)體行業(yè)；

8、每個(gè)產(chǎn)品出廠都經(jīng)過(guò)氦氣測(cè)試。