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1、內(nèi)部無(wú)彈簧，閥座和膜片一體焊接設(shè)計(jì)；

2、內(nèi)部容積小，可完全清掃流道；

3、鈷基超級(jí)合金隔膜強(qiáng)度高、耐腐蝕，使用壽命長(zhǎng)；

4、全封閉式閥座設(shè)計(jì)，提高抗膨脹和防污染能力，改進(jìn)的氦氣泄露測(cè)試性能。同時(shí)極少產(chǎn)生顆粒，使用壽命長(zhǎng)；

5、內(nèi)表面粗糙度可達(dá)Ra 0.13μm(5μin.)；

6、高清潔的組裝和包裝適用于高純潔度的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)；

7、 每個(gè)產(chǎn)品出廠前都經(jīng)過(guò)氦氣測(cè)試。