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產(chǎn)品特點(diǎn)

1、SS316L VAR不銹鋼閥體材料,可用于超高純應(yīng)用;

2、內(nèi)表面粗糙度可達(dá)Ra 0.13μm(5μin.),可完全清掃流道;

3、將兩個LD 或HD系列的隔膜閥合二為一,通過共同的流路限度縮小了死區(qū),而且脫氣性優(yōu)越;

4、在保持原有閥門基本性能的同時,通過同類或異類組合,可以設(shè)計(jì)出緊湊的配管系統(tǒng);

5、可以根據(jù)配管布置選擇合適的流路系統(tǒng),配管配置,接頭種類;

6、可以設(shè)計(jì)制作三聯(lián)以上的特殊規(guī)格的多聯(lián)隔膜閥;

7、鈷基超級合金隔膜強(qiáng)度高、耐腐蝕,使用壽命長;

8、全封閉式閥座設(shè)計(jì),提高抗膨脹和防污染能力,改進(jìn)的氦氣泄露測試性能。同時極少產(chǎn)生顆粒,使用壽命長;

9、高清潔的組裝和包裝適用于高純潔度的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè);

10、每一個產(chǎn)品出廠都經(jīng)過氦氣測試。

  • 規(guī)格參數(shù)
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  • 安裝說明
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